金是廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性,易于沉積
。金適合于低應(yīng)力材料,如金,銀,銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)
品,即使頻率飄移1MHz,也沒有負(fù)作用。然而,金電極不易彎曲,會將應(yīng)力從膜
層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。
鍍低應(yīng)力膜料時(shí),選擇鍍金晶振片 常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu,這
些膜層幾乎沒有應(yīng)力,在室溫下鍍膜即可。膜層較軟,易劃傷,但不會裂開或?qū)?/p>
基底產(chǎn)生負(fù)作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,經(jīng)驗(yàn)證明,可以在鍍金晶
振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。
銀鋁合金晶振片近推出一種新型電極材料,適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控,
如Si0,Si02, MgF2,Ti02。這些高應(yīng)力膜層,由于高張力或堆積的引力,經(jīng)常
會使晶振片有不穩(wěn)定,高應(yīng)力會使基片變形而導(dǎo)致跳頻。 銀鋁合金通過塑變或
流變分散應(yīng)力,在張力或應(yīng)力使基體變形前,銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這
使銀鋁合金晶振片具有更長時(shí)間,更穩(wěn)定的振動(dòng)。實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)表明鍍Si02用
銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長400%。
使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好
的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性,被廣泛用于光學(xué)鍍膜,但這些膜料也是難監(jiān)控
的,只有基底溫度大于200度時(shí),這些膜層才會與基底有非常良好的結(jié)合力,所
以當(dāng)這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結(jié)過程會產(chǎn)生巨大的應(yīng)力,容
易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。 這時(shí)候,選用合金晶振片將是的選擇
,將大大減少調(diào)頻機(jī)會。實(shí)驗(yàn)室顯示,使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂,有效壽命比
鍍金的長。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50 度,晶振片的壽命更可以
再延長一倍
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