中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組()從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得六五攻關(guān)榮譽證書以及FD-2反應(yīng)離子刻蝕機與超精細(xì)刻蝕研究項目二等獎。

從2010年開始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發(fā)明展覽會銀獎與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎。

經(jīng)過二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內(nèi)市場份額的70%以上。

目前射頻電源組分為三個部門：產(chǎn)品研發(fā)部，產(chǎn)品生產(chǎn)部，產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部。

產(chǎn)品研發(fā)部：有專業(yè)研發(fā)人員7人，其中碩士及以上比例，具有教授級職稱2人，具有博士學(xué)歷3人，從清華大學(xué)，中科院電工所，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)引進(jìn)射頻技術(shù)與自動控制專家3人，目前已建立起一支由高級研發(fā)顧問領(lǐng)導(dǎo)的國際化研發(fā)人才團隊。

產(chǎn)品生產(chǎn)部：有專業(yè)技術(shù)工程師17人，具有500平方專業(yè)射頻電源生產(chǎn)與測試車間（可以進(jìn)行ESD，EMC等測試），年生產(chǎn)能力達(dá)3000臺套。

產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部：有專業(yè)推廣銷售人員4人，專業(yè)售后服務(wù)人員2人，其中碩士及以上比例。

目前開發(fā)成熟的電子管與晶體管射頻電源產(chǎn)品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規(guī)格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩(wěn)流源與自動匹配器。

射頻電源廣泛應(yīng)用于等離子體研究，集成電路工藝設(shè)備，太陽能光伏工業(yè)，LED制程，薄膜生長，感應(yīng)加熱，醫(yī)療領(lǐng)域的與理療，等離子清洗等領(lǐng)域。

產(chǎn)品現(xiàn)已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導(dǎo)體設(shè)備廠等高技術(shù)公司，得到用戶的一致好評。