蘇州卡斯圖電子有限公司自主研發(fā)的無損紅外透視顯微技術(shù)，廣泛交付于半導(dǎo)體（Semiconductor）領(lǐng)域公司、平板顯示（FPD）公司、科研單位、高校及第三方實(shí)驗室、軍工企業(yè)，解決了該技術(shù)多年來被日本奧林巴斯壟斷的窘境，為國內(nèi)外客戶創(chuàng)造了更高的效益。

該技術(shù)方案得益于精密光學(xué)設(shè)計、納米級加工的集成式光學(xué)系統(tǒng)，創(chuàng)造性地兼容于常規(guī)金相顯微鏡（2寸-12寸）、常規(guī)體視顯微鏡（伽利略型及格林諾夫型）、常規(guī)工具顯微鏡、常規(guī)影像測量儀、超景深顯微鏡、大型龍門工業(yè)顯微鏡（ZUI大120寸）。技術(shù)方案可采用結(jié)構(gòu)光、近紅外波段、中遠(yuǎn)紅外波段、太赫茲波段穿透芯片、顯示面板表層封裝的非金屬化合物，對客戶產(chǎn)品進(jìn)行無損檢查。其微米/納米級物體內(nèi)部無損檢測技術(shù)在VECSEL器件、薄膜型黏晶材料穿透、全復(fù)消色差紅外檢測、可見光/紅外對位檢測等應(yīng)用。

MIR200紅外顯微鏡——硅基無損紅外透視顯微解決方案D一代半導(dǎo)體（硅基）

D一代半導(dǎo)體是單質(zhì)材料，因此也被稱為“元素半導(dǎo)體”。世界上D一只晶體管是由鍺（Ge）生產(chǎn)出來的，但鍺的非必要能耗與器件耗損，以及儲量和價格，相較硅來說不具優(yōu)勢。硅（包括硅基）器件占到了全球銷售的一代半導(dǎo)體產(chǎn)品95%以上。

國內(nèi)前三晶圓代工廠，12寸晶圓無損穿透案例：

MIR全系列工業(yè)顯微鏡,2寸/4寸/6寸/8寸/12寸，能夠穿透樣品表面，進(jìn)行良好地?zé)o損觀察檢測，檢測效果良好、速度快，大幅提升了客戶效率。本系列顯微鏡可根據(jù)客戶要求定制濾片、鏡頭、相機(jī)、平臺，可搭配自動傳動設(shè)備。

D一代半導(dǎo)體（硅基）

薄膜型黏晶材料主要應(yīng)用于堆疊式晶片級封裝體（Stacked Chip Scale Package,SCSP）中，對于兩種黏晶材料DAF(Die Attach Film)與FOW(Film Over Wire),公司紅外穿透顯微鏡結(jié)合特殊觀察方式，能夠輕松穿透兩種黏晶材料。

國內(nèi)LED制造企業(yè)之一，6寸晶圓無損穿透硅片背面及DAF膜案例：

無效檢測 無效檢測 MIR200穿透DAF/FOW薄膜

D一代半導(dǎo)體（硅基）圖片賞析

已交付近50家國內(nèi)客戶用于硅（硅基）產(chǎn)品，以下為MIR200近紅外顯微鏡拍攝效果圖片。

D一代半導(dǎo)體（硅基）圖片賞析

已交付近50家國內(nèi)客戶用于硅（硅基）產(chǎn)品，以下為MIR200近紅外顯微鏡拍攝效果圖片。