與擴散的效果類似,當過濾材料帶靜電時(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風速,帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計時就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。
無塵室潔凈度之維持和控制,除了硬件設(shè)備的投資外,也需要良好的軟件—管理制度來搭配,才能保持良好的潔凈度;無塵室運行和管理,可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討;無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),系統(tǒng)運行維護及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓的專業(yè)人士來執(zhí)行。
無塵室是污染控制的基礎(chǔ),是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中,必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間,硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高,為了提升競爭力,各個行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。
建造一個合格的電子無塵車間需要考慮多個因素,包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程??諝膺^濾:安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA(顆??諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物,防止灰塵和污染物進入車間。