這類潔凈室的潔凈等級也有1～9級，氣流組織形式有單向流、非單向流、混分流、矢量流，根據(jù)車間的情況和生產(chǎn)工藝要求，選用不同的氣流組織。其中1～5級氣流流型為單向流或混合流，風速0.2～0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50～60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15～25次/h；8～9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10～15次/h。

十萬級潔凈車間：指潔凈級別，可以理解為無塵室，但是無塵室也是需要換氣的，換進去的空氣需要經(jīng)過凈化室凈化，再送到無塵室。100000（10萬）級要求每小時換氣15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。

這樣的建筑平面設計程度也滿足了潔凈室的要求。潔凈房內(nèi)部的裝飾材料分別是：吊頂為金屬板，墻面為潔凈室專用墻板，地面為潔凈室專用回風地板。照明等內(nèi)部設施充分考慮了潔凈車間的特殊需要，均為不易起塵材料。人員進口處設風淋室，物料傳輸設傳遞窗。

風系統(tǒng)：新風經(jīng)洗凈，初過濾，中過濾與回風混合后進人空凋器，空凋器按潔凈車間的熱、濕負荷需求處理約20％的循環(huán)風量，空調(diào)器出風與經(jīng)循環(huán)風機箱的回風再次混合至出風溫度，回風經(jīng)潔凈室專用回風地板，通過1.5米深的回風層，回至空調(diào)器/循環(huán)風機箱。

水系統(tǒng)：由新設的二次泵將二次冷水在空調(diào)器、冷水槽之間循環(huán)。