電子無(wú)塵車(chē)間投資越大,質(zhì)量水平越高,至于電子產(chǎn)品參與的人絡(luò)繹不絕。幾年后,電子無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的電子產(chǎn)品尺寸可達(dá)到0.5微米左右,整體電路存儲(chǔ)可達(dá)到更高的水平,因此,目前很多潔凈室的部件都用在了微電子上,建設(shè)和運(yùn)營(yíng)的資金都非常高。
為達(dá)到潔凈水平,無(wú)塵車(chē)間的設(shè)置需要采取綜合措施,包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等,其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。
對(duì)于要求比較高的無(wú)塵車(chē)間,還需要做無(wú)塵車(chē)間地面的防靜電處理。通過(guò)使用防靜電水磨石做面層,再通過(guò)鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電效果。如果無(wú)塵車(chē)間地面采用防靜電水泥砂漿,那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電功能。一般來(lái)說(shuō),電子無(wú)塵車(chē)間對(duì)防靜電的要求會(huì)比較高。
首先,要選擇符合自身需求的無(wú)塵車(chē)間地面材料。常見(jiàn)的無(wú)塵車(chē)間地面,分為涂布型地面、粘貼性地面、水磨石地面、金屬隔柵通風(fēng)地面等。涂布型無(wú)塵車(chē)間地面,按照材料的不同,又分為聚氨酯涂料、環(huán)氧樹(shù)脂和聚酯樹(shù)脂砂漿。這種無(wú)塵車(chē)間地面,附著力強(qiáng),易施工,彈性好,耐水、耐腐蝕。