在無塵車間裝修過程中,管道是工程的一部分。無塵車間工程所采用的保溫材料應(yīng)符合《防火規(guī)范》的要求,滿足潔凈室的需要。也就是說,無塵車間的管道保溫材料和膠粘劑應(yīng)選用不燃材料或阻燃材料,不應(yīng)選用易揚塵的材料(如玻璃纖維、短纖維礦棉等)。在下列情況下,必須使用不燃絕緣材料。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
在決定無塵車間的設(shè)計之前,必須仔細(xì)考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內(nèi),不要使用地面送風(fēng),以免進入其他需要清潔的工作場所。 無塵車間必須防止外界空氣進入室內(nèi),室內(nèi)必須保持正壓才能達(dá)到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力,必須添加適當(dāng)?shù)男迈r空氣。
由于無塵車間要保持相應(yīng)級別的潔凈度,所用建造材料都應(yīng)滿足一定的要求。無塵車間地面,要求平整、耐磨、易清洗、防靜電、不嚴(yán)重反光、美觀耐用。無塵車間地面材料的選用尤其關(guān)鍵,具體使用哪種材料,應(yīng)結(jié)合無塵車間建設(shè)方的預(yù)算來確定。