為達(dá)到潔凈水平，無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。

無塵車間的設(shè)計并不像想象的那么簡單，它是一個大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空調(diào)。因此，在設(shè)計和施工中，必須注意節(jié)能措施、系統(tǒng)和區(qū)域劃分、風(fēng)量計算、溫度和相對濕度的確定。在該區(qū)域，為保證無塵車間的全過程調(diào)節(jié)，空調(diào)箱應(yīng)根據(jù)氣候條件選擇自動控制裝置。另外，空調(diào)房設(shè)計在無塵車間內(nèi)。這樣既節(jié)約了能源，又使氣流組織更加合理。

人和物體是粉塵的主要來源，應(yīng)加以控制。比如進(jìn)入無塵車間，每個人都必須通過人際網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)換上干凈的衣服，接受凈化系統(tǒng)功能的基礎(chǔ)教育。

在無塵車間的設(shè)計過程中，根據(jù)項(xiàng)目的實(shí)際情況和客戶的具體要求，做好以上幾點(diǎn)。按設(shè)計方案運(yùn)行的無塵車間應(yīng)提供必要的給排水裝置、供氣裝置和電源。這些裝置和相關(guān)設(shè)備的設(shè)計必須易于使用，并且不會對空氣凈化系統(tǒng)造成障礙。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。