福爾康13B-5P 出售二手13B雙面拋光機(jī) 高精密雙面研磨機(jī)詳細(xì)說明工廠低價轉(zhuǎn)讓多臺8成新 13B福爾康品牌 雙面拋光研磨機(jī)
產(chǎn)品用途:
本機(jī)適用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。
主要特點:
1.變頻器配合異步電機(jī)拖動,實現(xiàn)了軟啟動,軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。
2.采用雙電機(jī)同步拖動,太陽輪變速范圍更廣,能適應(yīng)不同研磨工藝的要求。
3.太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升,滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。
4.上下研磨盤采用斜齒輪傳動,提高了運轉(zhuǎn)平穩(wěn)性。
5.采用PLC控制,壓力采用電—氣比例閥閉環(huán)反饋控制,壓力等級設(shè)定更方便
,操作簡單易行,工作可靠穩(wěn)定。
6.本機(jī)應(yīng)用人機(jī)界面(PT)采用人機(jī)界面終端(NT)顯示與PLC控制,一方面顯示運行參數(shù),另一方面通過其觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項工藝參數(shù),主操作由普通鍵鈕完成。
7.造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了可靠性、實用性、互換性和操作和維修的方便性。
主要技術(shù)參數(shù):
1、研磨盤尺寸:φ1112mm×φ380mm×50mm
2、游星片參數(shù):公制M=2Z=212
英制DP12Z=200
3、游星片數(shù)量:5片
4、研磨直徑:φ350mm
5、小研磨厚度:0.40mm/φ125mm
6、研磨厚度:30mm
7、下研盤轉(zhuǎn)速0-50rpm
8、主電機(jī):11kWAC380V1450rpm變頻調(diào)速
9、副電機(jī):1.5kWAC380V1400rpm
10、砂泵參數(shù):1/4HP380V
11、氣源:0.5-0.6MPa
12、外形尺寸:2200mm×1600mm×2700mm
13、質(zhì)量:約5600Kg
主機(jī)精度:
1.下研盤端跳:0.06mm
2.研磨盤平面度:0.025mm
3.太陽輪徑向跳動:0.08mm
4.齒圈徑向跳動:0.15mm
加工精度(四個修正輪修研后):
1.修正輪修研后平行平面度:≤0.004mm
2.加工件平面平行度:≤0.0035/φ125mm
加工能力:
1.單片承片量:17片/φ75mm8片/φ100mm5片/φ125mm
2.整盤承片量:85片/φ75mm40片/φ100mm25片/φ125mm