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光弛Gener-2350 光學(xué)真空鍍膜機(jī) 二手日本光弛鍍膜機(jī)工廠低價轉(zhuǎn)讓2臺進(jìn)口原裝GENER-2350真空鍍膜機(jī)
真空室Ф2350mm×H 1400mm
基板架Ф2200 mm，5?式
基板架轉(zhuǎn)速20rpm
晶振式膜厚計6點(diǎn)式?晶傳感器
蒸發(fā)源電?槍1臺，熱阻蒸
離?源RF離?源
達(dá)到壓?7.0E-5Pa以下
排?時間15分以下（??壓?2.0×10-3 Pa）
設(shè)備尺?約6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
電源3相,200v,50/60Hz,約80KVA
?流量220升/分以上
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