工廠低價(jià)轉(zhuǎn)讓一臺(tái)日本日立品牌FT9500/9300模厚測(cè)試儀

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)

FT9500

FT9550

FT9500L

測(cè)量元素

Al（13）～Bi（83）

X射線源

管電壓：50（可變更）kV

管電流：10～1000 μA

檢測(cè)器

半導(dǎo)體檢測(cè)器（無(wú)需液氮）

X射線聚光

聚光導(dǎo)管方式

樣品觀察

CCD攝像頭（帶變焦功能）

對(duì)焦

激光對(duì)焦

濾波器

一次濾波器：3個(gè)位置（自動(dòng)切換）

樣品區(qū)域

X:240mm, Y:175mm

X:220mm, Y:150mm, Z:150mm

X:420mm, Y:330mm

X:400mm, Y:300mm, Z:50mm

X:840mm, Y:540mm

X:400mm, Y:300mm, Z:50mm

測(cè)量軟件

薄膜FP法（5層、10種元素）、檢量線法、塊體FP法（材料組成分析）

功能

樣品門聯(lián)鎖

1.薄膜及多層膜測(cè)量

通過(guò)采用新型的毛細(xì)管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機(jī)型FT9500同等強(qiáng)度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會(huì)改變測(cè)量精度即可測(cè)量幾十微米等級(jí)的微小范圍。

同時(shí)，也可對(duì)幾十納米等級(jí)的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測(cè)量。

2.異物分析

通過(guò)高能量微小光束和高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過(guò)與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。

3.數(shù)據(jù)編輯功能

配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計(jì)處理軟件，可以進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)、平均值、/小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計(jì)處理。 另外，通過(guò)Microsoft Word可以簡(jiǎn)單的制作包含了樣品畫(huà)圖的測(cè)量報(bào)告書(shū)。

4.高強(qiáng)度照射

通過(guò)高強(qiáng)度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。

5.樣品工作臺(tái)

配備等同與FT9550X的大型樣品臺(tái)，能夠?qū)Υ笮途€路板等樣品進(jìn)行整體排列測(cè)量對(duì)應(yīng)。

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