工廠低價轉(zhuǎn)讓一臺日本日立品牌FT9500/9300模厚測試儀
技術(shù)參數(shù):
型號
FT9500
FT9550
FT9500L
測量元素
Al(13)~Bi(83)
X射線源
管電壓:50(可變更)kV
管電流:10~1000 μA
檢測器
半導(dǎo)體檢測器(無需液氮)
X射線聚光
聚光導(dǎo)管方式
樣品觀察
CCD攝像頭(帶變焦功能)
對焦
激光對焦
濾波器
一次濾波器:3個位置(自動切換)
樣品區(qū)域
X:240mm, Y:175mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm
X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
X:840mm, Y:540mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
測量軟件
薄膜FP法(5層、10種元素)、檢量線法、塊體FP法(材料組成分析)
功能
樣品門聯(lián)鎖
1.薄膜及多層膜測量
通過采用新型的毛細管(X射線聚光系統(tǒng))和X射線源,把與以往機型FT9500同等強度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此,不會改變測量精度即可測量幾十微米等級的微小范圍。
同時,也可對幾十納米等級的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進行高精度測量。
2.異物分析
通過高能量微小光束和高計數(shù)率檢測器的組合,可進行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線,通過與正常部分的能譜差進行異物的定性分析(Al~U)。
3.數(shù)據(jù)編輯功能
配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計處理軟件,可以進行測量數(shù)據(jù)、平均值、/小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計處理。 另外,通過Microsoft Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。
4.高強度照射
通過高強度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。
5.樣品工作臺
配備等同與FT9550X的大型樣品臺,能夠?qū)Υ笮途€路板等樣品進行整體排列測量對應(yīng)。
詳情歡迎來工廠看機地址:廣東東莞市茶山鎮(zhèn)增盧路新益大廈(集友工業(yè)村對面)宏誠光學(xué)