：：產(chǎn)品描述：：

北京華旭世紀(jì)HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，采用了數(shù)字式技術(shù)，相比模擬技術(shù)，HXMF05系列產(chǎn)品提高了精度和數(shù)字化程度。它采用了毛細管熱傳感技術(shù)和熱溫差原理，來測量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關(guān)，因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。

HXMF05系列小流量熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品，采用了緊湊型設(shè)計，體積小巧精致，產(chǎn)品堅固耐用。產(chǎn)品使用了線性化校正電路和EMI保護，具備可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長等特點。

在數(shù)據(jù)傳輸上，不但具備傳統(tǒng)的有線式，還具備局域網(wǎng)無線傳輸數(shù)據(jù)，互聯(lián)網(wǎng)遠程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺等強大功能。

：：產(chǎn)品特色：：

● 數(shù)字化技術(shù)，更快速的響應(yīng)時間

● 優(yōu)于1%FS的高精度

● 出色的長期穩(wěn)定性

● 可測量腐蝕性氣體，堅固耐用

● 精巧的外觀設(shè)計，的保護電路及EMI

● 可配專用顯示表，顯示瞬時流量

● 諸多選項：高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸

遠程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺、短信報警、郵件報警等

：：典型應(yīng)用：：

· 光伏及晶體制備 · 真空行業(yè)及鍍膜 · 泄漏檢測

· 爐窯及微反應(yīng)裝置 · 半導(dǎo)體行業(yè) · 大學(xué)/研究所

· 分析儀器 · 氣體混合配比 · 計量及計價

· 燃料電池 · 燃燒測試 · 其它氣體測控場合

：：性能指標(biāo)：：

介質(zhì)要求：與介質(zhì)兼容的氣體，支持腐蝕性氣體

介質(zhì)種類：客戶指定，也可現(xiàn)場更改-需咨詢我們

標(biāo)定工況：0℃ @ 1 atm（氮氣）

測控量程：從0～5sccm到0～250slm任選,可定制更高流量范圍

量程比：50:1

精度：±0.35%F.S.或±1.0%RD，取數(shù)值大者（FS-滿量程 RD-讀數(shù)）

重復(fù)性：±0.2%F.S.

流量分辨率：0.1%F.S.

響應(yīng)時間：1.5S

閥門狀態(tài)：常閉（僅控制器，流量計無閥門）

工作溫度：5～45℃

工作濕度：0～RH（無冷凝）

工作壓差范圍：流量計 0.02MPa～3MPa

控制器 0.1～0.5MPa(>10SLM為0.1～0.3MPa)

大耐壓：3MPa，可選高壓選項10MPa

輸入輸出信號：標(biāo)準(zhǔn)為RS485，可選0～5V

通訊協(xié)議：Modbus

供電電壓：24VDC@250mA

電氣接口：DB15pin，2XRJ45

泄漏率：≤1×10-10次方Pa·立方米 /S（He）

接液材質(zhì)：316L SS

密封材料：根據(jù)氣體種類由廠家選擇或客戶指定，包括：PTF、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等

管道接頭：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8雙卡套，3、6、8、10mm雙卡套

外形尺寸：長×寬×高：127×30×128.5mm

產(chǎn)品重量：流量計0.75kg

控制器0.9kg

：：訂購信息：：

· 流量計或控制器 · 氣體種類 · 流量范圍

· 工作溫度 · 入口壓力 · 出口壓力

· 管道連接尺寸和類型 · 輸入/輸出信號

· 安裝姿勢 · 選項及其它特殊要求：請咨詢我們