特征

適用于硅片等各種材料的厚度TTV測(cè)量

測(cè)量范圍：0～2mm

分辨率：0.1μm

微電腦控制、液晶顯示

菜單式界面、PVC面板操作

接觸式測(cè)量

測(cè)頭自動(dòng)升降

手動(dòng)、自動(dòng)雙重測(cè)量模式

數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)統(tǒng)計(jì)

顯示厚度、TTV、平均值和統(tǒng)計(jì)偏差

電源：AC 220V 50Hz

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