羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機演化而來的。依據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。普通來說,羅茨泵具有以下特性:
在較寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速;
起動快,能立刻工作;
對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;
轉(zhuǎn)子不用光滑,泵腔內(nèi)無油;
振動小,轉(zhuǎn)子動均衡條件較好,沒有排氣閥;
驅(qū)動功率小,機械摩擦損失?。?/p>
構(gòu)造緊湊,占空中積??;
運轉(zhuǎn)維護費用低。
因而,羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門得到普遍的應(yīng)用。