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多晶太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝詳解

2018-03-08 09:01:08  8568 次瀏覽

太陽(yáng)電池從研究室走向工廠,實(shí)驗(yàn)研究走向規(guī)模化生產(chǎn)是其發(fā)展的道路,所以能夠達(dá)到工業(yè)化生產(chǎn)的特征應(yīng)該是:

[1]電池的制作工藝能夠滿(mǎn)足流水線作業(yè);

[2]能夠大規(guī)模、現(xiàn)代化生產(chǎn);

[3]達(dá)到、低成本。

當(dāng)然,其主要目標(biāo)是降低太陽(yáng)電池的生產(chǎn)成本。多晶硅電池的主要發(fā)展方向朝著大面積、薄襯底。例如,市場(chǎng)上可見(jiàn)到125×125mm2、156×156mm2甚至更大規(guī)模的單片電池,厚度從原來(lái)的300微米減小到250、200及200微米以下。效率得到大幅度的提高。日本京磁(Kyocera)公司150×150的電池小批量生產(chǎn)的光電轉(zhuǎn)換效率達(dá)到17.1%,該公司1998年的生產(chǎn)量達(dá)到25.4MW。

圖片不存在絲網(wǎng)印刷及其相關(guān)技術(shù)

多晶硅電池的規(guī)?;a(chǎn)中廣泛使用了絲網(wǎng)印刷工藝,該工藝可用于擴(kuò)散源的印刷、正面金屬電極、背接觸電極,減反射膜層等,隨著絲網(wǎng)材料的改善和工藝水平的提高,絲網(wǎng)印刷工藝在太陽(yáng)電池的生產(chǎn)中將會(huì)得到更加普遍的應(yīng)用。

a.發(fā)射區(qū)的形成

利用絲網(wǎng)印刷形成PN結(jié),代替常規(guī)的管式爐擴(kuò)散工藝。一般在多晶硅的正面印刷含磷的漿料、在反面印刷含鋁的金屬漿料。印刷完成后,擴(kuò)散可在網(wǎng)帶爐中完成(通常溫度在900度),這樣,印刷、烘干、擴(kuò)散可形成連續(xù)性生產(chǎn)。絲網(wǎng)印刷擴(kuò)散技術(shù)所形成的發(fā)射區(qū)通常表面濃度比較高,則表面光生載流子復(fù)合較大,為了克服這一缺點(diǎn),工藝上采用了下面的選擇發(fā)射區(qū)工藝技術(shù),使電池的轉(zhuǎn)換效率得到進(jìn)一步的提高。

b.選擇發(fā)射區(qū)工藝

在多晶硅電池的擴(kuò)散工藝中,選擇發(fā)射區(qū)技術(shù)分為局部腐蝕或兩步擴(kuò)散法。局部腐蝕為用干法(例如反應(yīng)離子腐蝕)或化學(xué)腐蝕的方法,將金屬電極之間區(qū)域的重?cái)U(kuò)散層腐蝕掉。初,Solarex應(yīng)用反應(yīng)離子腐蝕的方法在同一臺(tái)設(shè)備中,先用大反應(yīng)功率腐蝕掉金屬電極間的重?fù)诫s層,再用小功率沉積一層氮化硅薄膜,該膜層發(fā)揮減反射和電池表面鈍化的雙重作用。在100cm2的多晶上作出轉(zhuǎn)換效率超過(guò)13%的電池。在同樣面積上,應(yīng)用兩部擴(kuò)散法,未作機(jī)械絨面的情況下轉(zhuǎn)換效率達(dá)到16%。

c.背表面場(chǎng)的形成

背PN結(jié)通常由絲網(wǎng)印刷A漿料并在網(wǎng)帶爐中熱退火后形成,該工藝在形成背表面結(jié)的同時(shí),對(duì)多晶硅中的雜質(zhì)具有良好的吸除作用,鋁吸雜過(guò)程一般在高溫區(qū)段完成,測(cè)量結(jié)果表明吸雜作用可使前道高溫過(guò)程所造成的多晶硅少子壽命的下降得到恢復(fù)。良好的背表面場(chǎng)可明顯地提高電池的開(kāi)路電壓。

d.絲網(wǎng)印刷金屬電極

在規(guī)?;a(chǎn)中,絲網(wǎng)印刷工藝與真空蒸發(fā)、金屬電鍍等工藝相比,更具有優(yōu)勢(shì),在當(dāng)今的工藝中,正面的印刷材料普遍選用含銀的漿料,其主要原因是銀具有良好的導(dǎo)電性、可焊性和在硅中的低擴(kuò)散性能。經(jīng)絲網(wǎng)印刷、退火所形成的金屬層的導(dǎo)電性能取決于漿料的化學(xué)成份、玻璃體的含量、絲網(wǎng)的粗糟度、燒結(jié)條件和絲網(wǎng)版的厚度。八十年度初,絲網(wǎng)印刷具有一些缺陷,Ⅰ)如柵線寬度較大,通常大于150微米;Ⅱ)造成遮光較大,電池填充因子較低;Ⅲ)不適合表面鈍化,主要是表面擴(kuò)散濃度較高,否則接觸電阻較大。如今用先進(jìn)的方法可絲網(wǎng)印出線寬達(dá)50微米的柵線,厚度超過(guò)15微米,方塊電阻為2.5~4mΩ,該參數(shù)可滿(mǎn)足電池的要求。有人在15×15平方厘米的Mc—Si上對(duì)絲網(wǎng)印刷電極和蒸發(fā)電極所作太陽(yáng)電池進(jìn)行了比較,各項(xiàng)參數(shù)幾乎沒(méi)有差距。

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