在真空系統(tǒng)中，用來(lái)改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。

真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用是：

(1)開(kāi)關(guān)氣路 如圖1所示，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開(kāi)時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開(kāi)時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空；當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開(kāi)時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作，對(duì)容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵?？梢?jiàn)，閥門在這種操作中的作用是開(kāi)關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。

(2)控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開(kāi)啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大??；關(guān)閉閥2和閥4，通過(guò)放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過(guò)放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。

(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿高壓氣體；當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動(dòng)方式、材料和用途進(jìn)行分類，其分類見(jiàn)表1。

真空閥門的型號(hào)編制方法國(guó)家專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作了規(guī)定，可查閱有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

表1 真空閥門分類

分類方法

名 稱

根據(jù)閥門的職能

低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門

根據(jù)結(jié)構(gòu)塑式

擋板閥、翻板閥，碟閥、隔板閥、閘閥、針閥、插板閥

根據(jù)驅(qū)動(dòng)方式

手動(dòng)閥、電動(dòng)閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動(dòng)閥、液壓真空閥

根據(jù)材料

金屬真空閥、玻璃真空活塞(考克)、塑料閥

根據(jù)用途

截止閥、隔離閥、放氣閥、節(jié)流閥、換向閥、封閉送料閥

根據(jù)通道方式

腳閥、直通閥、雙通閥、三通閥、四通閥