微觀結(jié)構(gòu):銦靶晶粒尺寸一般需維持在 10-50 微米區(qū)間,密度高于 7.31g/cm3,熱導(dǎo)率保持在 81.8W/(m?K) 以上,這些技術(shù)參數(shù)直接決定了其在真空濺射過程中的沉積效率和薄膜質(zhì)量。
超高密度成型:超高密度成型工藝(≥99.5%)可使靶材具有更好的性能,提高在真空濺射過程中的穩(wěn)定性和使用壽命。
晶粒定向控制:晶粒定向控制技術(shù)能夠控制銦靶的晶粒尺寸和方向,提升濺射薄膜的質(zhì)量和性能,滿足高端應(yīng)用領(lǐng)域的需求。
良好的導(dǎo)電性:ITO 薄膜的電阻率可達(dá) 10??Ω?cm,具有較低的電阻和較高的載流子濃度,能夠有效地傳輸電流,滿足各種電子設(shè)備的導(dǎo)電需求。
光伏技術(shù)領(lǐng)域:在太陽能電池中,ITO 薄膜作為前電極材料,具有高透明性,能夠保證光線有效進(jìn)入吸收層,從而提升光電轉(zhuǎn)換效率,適用于 CIGS、CdTe 等薄膜太陽能電池技術(shù)。
其他領(lǐng)域:在智能窗、透明發(fā)熱膜、紅外反射膜等領(lǐng)域也有應(yīng)用,滿足智能建筑和汽車工業(yè)中的透明導(dǎo)電需求。