微觀結(jié)構(gòu):銦靶晶粒尺寸一般需維持在 10-50 微米區(qū)間,密度高于 7.31g/cm3,熱導率保持在 81.8W/(m?K) 以上,這些技術(shù)參數(shù)直接決定了其在真空濺射過程中的沉積效率和薄膜質(zhì)量。
主要成分:通常由 90% 的氧化銦(In?O?)和 10% 的氧化錫(SnO?)組成,這一比例在實際應用中能實現(xiàn)透明性和導電性的理想平衡。
外觀特性:在靶材形態(tài)下,顏色通常為淺黃色至淺綠色,而制成薄膜后則具有透明性。
良好的導電性:ITO 薄膜的電阻率可達 10??Ω?cm,具有較低的電阻和較高的載流子濃度,能夠有效地傳輸電流,滿足各種電子設備的導電需求。
半導體與電子工業(yè)(占比約 25%):
焊料與封裝:利用銦的低熔點和延展性,作為半導體芯片的焊接材料(如倒裝焊、熱沉連接),可適應精密器件的高溫穩(wěn)定性需求。
化合物半導體:與鎵、砷等元素合成 InGaAs、InP 等化合物,用于 5G 芯片、激光器、探測器(如紅外成像器件)。