銦靶是指以銦為主要成分的濺射靶材,是一種在材料表面鍍膜過(guò)程中用于提供銦源的材料。在真空濺射鍍膜工藝中,銦靶材在高能粒子的轟擊下,銦原子被濺射出來(lái)并沉積在基底材料表面,形成所需的銦薄膜。
良好的機(jī)械和熱學(xué)特性:硬度較高,在研磨、拋光過(guò)程中不易被劃傷,保證了薄膜表面的平整性;同時(shí)能夠承受較高的溫度而不發(fā)生分解或結(jié)構(gòu)破壞,在高溫環(huán)境中的抗裂性和耐用性良好,確保了薄膜在濺射和高溫條件下的穩(wěn)定性。
熱等靜壓(HIP)工藝:在高溫和高壓環(huán)境下進(jìn)行燒結(jié),能夠顯著提高材料的致密度,減少材料中的孔隙,改善材料的微觀結(jié)構(gòu),使得 ITO 靶材具有更高的電導(dǎo)率和機(jī)械強(qiáng)度,但該工藝成本較為昂貴。
靶材原料(占比約 60%):
用于制備 ITO(氧化銦錫)靶材,生產(chǎn) LCD、OLED 顯示面板的透明導(dǎo)電膜(如手機(jī)屏幕、電視面板)。
光伏領(lǐng)域:作為 CIGS(銅銦鎵硒)薄膜太陽(yáng)能電池的關(guān)鍵原料,提升光電轉(zhuǎn)換效率。