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主流回收工藝分類

當前ITO靶材回收主要圍繞銦元素提取展開，主要分為物理法、化學法和聯(lián)合工藝三類：

熔煉過濾法（物理法）

通過高溫熔煉結合篩網(wǎng)過濾實現(xiàn)銦與其他金屬的分離。具體流程包括：

廢銦塊在625℃熔煉爐中熔化，利用鐵/不銹鋼篩網(wǎng)（30-40目）截留固態(tài)雜質鐵、鋁。

熔融銦通過重力滴落收集，殘留物可二次熔煉提升回收率至72%。

該方法具有設備簡單（圖1）、周期短（單次處理≤60分鐘）的優(yōu)勢，適用于含銦量70%-90%的廢靶材。但需控溫（±5℃），否則雜質金屬可能熔化導致純度下降至95%以下。

火法-濕法聯(lián)合工藝

結合兩種工藝優(yōu)勢提升效率：

廢靶材先經(jīng)回轉窯1200℃揮發(fā)富集，銦含量從0.1%提升至0.5%。

富銦煙塵通過酸浸-萃取-電解流程精煉，整體回收率從傳統(tǒng)工藝的54%提升至85%。

該方案投資成本較單一濕法降低30%，但需配套煙氣凈化系統(tǒng)防止銦揮發(fā)損失。

韶關運田金屬總結：隨著光伏和顯示面板產(chǎn)業(yè)擴張，2025年中國ITO靶材回收市場規(guī)模預計突破50億元。物理法因成本優(yōu)勢（處理成本2000元/噸）在中小型企業(yè)普及，而大型企業(yè)更傾向聯(lián)合工藝（綜合回收率>90%）。

未來發(fā)展方向將聚焦：短流程設計（工序減少40%）、智能化控制系統(tǒng)（能耗降低25%）、以及銦錫同步回收技術的突破。

ITO靶材回收流程

ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：

1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據(jù)其種類、純度等進行分類。

2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續(xù)處理。

3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。

4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產(chǎn)品。

5. 再加工：將提純后的金屬產(chǎn)品加工成新的靶材或其他產(chǎn)品，實現(xiàn)資源的循環(huán)利用。