FT1000SA系列MEMS三軸電容加速度傳感器

一、傳感器特點(diǎn)：

FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測(cè)量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性。

本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。

二、產(chǎn)品性能

靈敏度（20±5℃）

X Y Z:～40-20mv/g

測(cè)量范圍（峰值）

50~100 g

橫向靈敏度

≤1 ％

頻率響應(yīng)（±5%）

DC ～12000 Hz

安裝諧振頻率

25,000 Hz

頻譜噪聲

25 μg/√Hz

工作溫度范圍

-40～+120 ℃

溫度響應(yīng)

見溫度曲線

極性

正向

溫度靈敏度穩(wěn)定性

5%

磁靈敏度

2 g/T

線性度為滿度范圍

±0.1%

安裝

M5螺釘/安裝座/磁座

敏感材料

MEAS芯片

殼體材料

鈦合金

重量

13g

輸出方式

九芯插頭/5線制

供電電壓

DC7-12V

配套件

傳感器合格證

標(biāo)定參數(shù)、頻響曲線

M5螺栓/安裝座

一套

9芯/（2 米）

1根

FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。