探頭故障現象、原因及排除方法1、沉積期間厚度讀數大跳變a.不良晶片產生解決方案：更換晶片b.晶片接近其使用壽命解決方案：更換晶片c.晶片支承座表面有雜物解決方案：用酒精或細砂皮清洗支承座d.來自濺射源的頻率干涉解決方案：檢查接地，儀器遠離濺射

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