掌上探針臺，一體式不銹鋼腔體，手動調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置

KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實(shí)驗(yàn)的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個探針臺系統(tǒng)中獨(dú)立出來，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。

掌上探針臺：技術(shù)參數(shù)

真空腔體

類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃ 室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min 低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米