微電容申通道叉指電低溫探針臺：一體式不銹鋼腔體，手動調節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置

KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結構小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構，使得探針部分能從整個探針臺系統(tǒng)中獨立出來，可以應用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結構可實現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數(shù)據(jù)更加準確。

微電容申通道叉指電低溫探針臺技術參數(shù)：

真空腔體

類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接）

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃ 室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min 低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針（可擴展5探針）

探針材質

鍍金鎢針 （其他材質可選）

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120° ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動螺紋調節(jié)探針桿）