科探標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等

技術(shù)參數(shù)：

控制方式

手動控制/自動控制切換

前級泵接口

KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級泵）

分子泵

FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分

分子泵抽氣速率

140L/S

分子泵啟動時(shí)間

≤2min

空載極限壓強(qiáng)

≤1X10-4Pa

真空測量方式

冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管

真空測量范圍

1E﹢2到1E-5 Pa

真空測量精度

1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性：±5%

抽氣接口

KF25

閥門類型

KF25手動擋板閥

系統(tǒng)電源

AC220V

系統(tǒng)功率

≤1KW

環(huán)境溫度

5~32℃

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷卻

濕度

≤80%RH

外形尺寸

250 X360 X 300mm （寬-深-高）

重量

25KG

隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計(jì)X1個(gè)