鋼結(jié)構(gòu)制作、安裝的工業(yè)化程度高

鋼結(jié)構(gòu)的制作主要是在專(zhuān)業(yè)化金屬結(jié)構(gòu)廠進(jìn)行，因而制作簡(jiǎn)便，精度高。制成的構(gòu)件運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)安裝，裝配化程度高，安裝速度快，工期短。

密封性

鋼材內(nèi)部組織很致密，當(dāng)采用焊接連接，甚至采用鉚釘或螺栓連接時(shí)，都容易做到緊密不滲漏。

耐火性

當(dāng)鋼材表面溫度在150℃以內(nèi)時(shí)，鋼材的強(qiáng)度變化很小，因此鋼結(jié)構(gòu)適用于熱車(chē)間。當(dāng)溫度超過(guò)150 ℃時(shí)，其強(qiáng)度明顯下降。當(dāng)溫度達(dá)到500—600t時(shí)，強(qiáng)度幾乎為零。所以，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，鋼結(jié)構(gòu)的耐火時(shí)間較短，會(huì)發(fā)生突然的坍塌。對(duì)有特殊要求的鋼結(jié)構(gòu)．要采取隔熱和耐火措施。

耐腐蝕性

鋼材在潮濕環(huán)境中，特別是處于有腐蝕性介質(zhì)環(huán)境中容易銹蝕，需要定期維護(hù)，增加了維護(hù)費(fèi)用。

凈室，又稱無(wú)塵室、潔凈室或清凈室，是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來(lái)源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別，污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)的（如沒(méi)有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。

空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對(duì)溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái)，些微的溫、濕度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。