半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命，但不能無(wú)條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>

凈室是一種以合理的成本開(kāi)發(fā)高質(zhì)量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因?yàn)閳?jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)是任何工程學(xué)科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎(chǔ)。凈室是面向工作組的，因?yàn)檐浖怯扇碎_(kāi)發(fā)出來(lái)的，并且理論必須簡(jiǎn)化到實(shí)際應(yīng)用才能引導(dǎo)人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對(duì)經(jīng)濟(jì)實(shí)用軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)樵诂F(xiàn)實(shí)生活中，業(yè)務(wù)和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對(duì)高質(zhì)量軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)楦哔|(zhì)量改進(jìn)管理，降低風(fēng)險(xiǎn)及成本，滿足用戶需求，提供競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

工業(yè)廠房，指直接用于生產(chǎn)或?yàn)樯a(chǎn)配套的各種房屋，包括主要車(chē)間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運(yùn)輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車(chē)間，還包括其附屬建筑物。

在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi)，確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí)，宜使構(gòu)配件的類(lèi)型統(tǒng)一。

在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上，廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單，避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí)，應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。

廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。