凈室的定義為：將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當少，稱之為凈室。凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫(yī)院內的手術室等行業(yè)等，其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產生影響。作為生產設施，凈室可以占據廠房很多位置。

溫濕度要求比一般空調高一般空調要求在18°C~26 °C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調必須控制在22°C~24 °C之間，相對濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內。

空調系統24小時全天運轉并監(jiān)控管理半導體工廠部分制程設備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學機臺，些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差，另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調系統必須24小時監(jiān)控管理之。

工業(yè)廠房，指直接用于生產或為生產配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業(yè)廠房除了用于生產的車間，還包括其附屬建筑物。