凈室,又稱無塵室、潔凈室或清凈室,是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的(如沒有受控的微生物),更在意的是凈室中的灰塵。
半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。
氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當的控制。
工業(yè)廠房,指直接用于生產或為生產配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業(yè)廠房除了用于生產的車間,還包括其附屬建筑物。
多層工業(yè)建筑的廠房絕大多數見于輕工、電子、儀表、通信、醫(yī)藥等行業(yè),此類廠房樓層一般不是很高,其照明設計與常見的科研實驗樓等相似,多采用熒光燈照明方案。機械加工、冶金、紡織等行業(yè)的生產廠房一般為單層工業(yè)建筑,并且根據生產的需要,更多的是多跨度單層工業(yè)廠房,即緊挨著平行布置的多跨度廠房,各跨度視需要可相同或不同。