溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對(duì)濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對(duì)濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對(duì)溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái)，些微的溫、濕度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于：

一、設(shè)計(jì)裝配式或部分裝配式的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)和混合結(jié)構(gòu)廠房；

二、編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集。

注：①設(shè)計(jì)鋼結(jié)構(gòu)廠房、受條件限制的改（擴(kuò)）建廠房、現(xiàn)澆式鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)廠房、工藝對(duì)廠房有特殊要求的廠房或按本標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)在技術(shù)經(jīng)濟(jì)上會(huì)產(chǎn)生顯著不合理的廠房，可不執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的某些規(guī)定；②采用新技術(shù)、新結(jié)構(gòu)和新材料的廠房，可不受本標(biāo)準(zhǔn)某些規(guī)定的限制。

在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi)，確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí)，宜使構(gòu)配件的類型統(tǒng)一。

在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上，廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單，避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí)，應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。

廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。