凈室，又稱無(wú)塵室、潔凈室或清凈室，是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來(lái)源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別，污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)的（如沒(méi)有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對(duì)濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對(duì)濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。

在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi)，確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí)，宜使構(gòu)配件的類型統(tǒng)一。

在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上，廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單，避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí)，應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。

廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。