凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，透過循環(huán)風(fēng)扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

工業(yè)廠房，指直接用于生產(chǎn)或?yàn)樯a(chǎn)配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運(yùn)輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車間，還包括其附屬建筑物。

單層廠房在滿足一定建筑模數(shù)要求的基礎(chǔ)上視工藝需要確定其建筑寬度（跨度）、長度和高度。廠房的跨度B：一般為6、9、12、15、18、21、24、27、30、36m……。廠房的長度L：少則幾十米，多則數(shù)百米。廠房的高度H：低的一般5～6m，高的可達(dá)30～40m，甚至更高。廠房的跨度和高度是廠房照明設(shè)計(jì)中考慮的主要因素。

另外，根據(jù)工業(yè)生產(chǎn)連續(xù)性及工段間產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)男枰?，多?shù)工業(yè)廠房內(nèi)設(shè)有吊車，其起重量輕的可為3～5t，大的可達(dá)數(shù)百噸（機(jī)械行業(yè)單臺吊車起重量可達(dá)800t）。因此，工廠照明通常采用裝在屋架上的燈具來實(shí)現(xiàn)。

標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

一、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。

二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的工業(yè)廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設(shè)計(jì)。

三、條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

四、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測試和運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。

五、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。

六、工業(yè)廠房是由獨(dú)立一棟建筑物（車間），和獨(dú)立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標(biāo)準(zhǔn)是10米，近不得少于5米，以便消驗(yàn)收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。