鋼結(jié)構(gòu)制作、安裝的工業(yè)化程度高

鋼結(jié)構(gòu)的制作主要是在專業(yè)化金屬結(jié)構(gòu)廠進(jìn)行，因而制作簡(jiǎn)便，精度高。制成的構(gòu)件運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)安裝，裝配化程度高，安裝速度快，工期短。

密封性

鋼材內(nèi)部組織很致密，當(dāng)采用焊接連接，甚至采用鉚釘或螺栓連接時(shí)，都容易做到緊密不滲漏。

耐火性

當(dāng)鋼材表面溫度在150℃以內(nèi)時(shí)，鋼材的強(qiáng)度變化很小，因此鋼結(jié)構(gòu)適用于熱車間。當(dāng)溫度超過(guò)150 ℃時(shí)，其強(qiáng)度明顯下降。當(dāng)溫度達(dá)到500—600t時(shí)，強(qiáng)度幾乎為零。所以，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，鋼結(jié)構(gòu)的耐火時(shí)間較短，會(huì)發(fā)生突然的坍塌。對(duì)有特殊要求的鋼結(jié)構(gòu)．要采取隔熱和耐火措施。

耐腐蝕性

鋼材在潮濕環(huán)境中，特別是處于有腐蝕性介質(zhì)環(huán)境中容易銹蝕，需要定期維護(hù)，增加了維護(hù)費(fèi)用。

溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對(duì)濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對(duì)濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對(duì)溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái)，些微的溫、濕度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。

半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命，但不能無(wú)條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>