保溫性
采用的保溫隔熱材料以玻纖棉為主,具有良好的保溫隔熱效果。用以外墻的保溫板,有效的避免墻體的“冷橋”現(xiàn)象,達(dá)到了更好的保溫效果。100mm左右厚的R15保溫棉熱阻值可相當(dāng)于1m厚的磚墻。
隔音性
隔音效果是評(píng)估住宅的一個(gè)重要指標(biāo),輕鋼體系安裝的窗均采用中空玻璃,隔音效果好,隔音達(dá)40分貝以上;由輕鋼龍骨、保溫材料石膏板組成的墻體,其隔音效果可高達(dá)60分貝。
健康性
干作業(yè)施工,減少廢棄物對(duì)環(huán)境造成的污染,房屋鋼結(jié)構(gòu)材料可回收,其他配套材料也可大部分回收,符合當(dāng)前環(huán)保意識(shí);所有材料為綠色建材,滿足生態(tài)環(huán)境要求,有利于健康。
凈室系統(tǒng),制造匹配規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,凈室內(nèi)的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經(jīng)過凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間(Mech. Chase),將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,透過循環(huán)風(fēng)扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。
溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間,相對(duì)濕度則在40%~65%之間;凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間,相對(duì)濕度則在45%~55%。
恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感,故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。
所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中,制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣,這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除,故排氣量相當(dāng)大,為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大,此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。