凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間,相對(duì)濕度則在40%~65%之間;凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間,相對(duì)濕度則在45%~55%。
恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感,故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>
本標(biāo)準(zhǔn)適用于:
一、設(shè)計(jì)裝配式或部分裝配式的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)和混合結(jié)構(gòu)廠房;
二、編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集。
注:①設(shè)計(jì)鋼結(jié)構(gòu)廠房、受條件限制的改(擴(kuò))建廠房、現(xiàn)澆式鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)廠房、工藝對(duì)廠房有特殊要求的廠房或按本標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)在技術(shù)經(jīng)濟(jì)上會(huì)產(chǎn)生顯著不合理的廠房,可不執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的某些規(guī)定;②采用新技術(shù)、新結(jié)構(gòu)和新材料的廠房,可不受本標(biāo)準(zhǔn)某些規(guī)定的限制。