石英坩堝,具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用越來(lái)越廣泛。目前,國(guó)內(nèi)石英坩堝生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)中使用的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)全部源于上世紀(jì)70年代初錦州155廠從日本引進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù),該項(xiàng)技術(shù)設(shè)備自動(dòng)化程度不高,整個(gè)生產(chǎn)過程中更多的依靠人工來(lái)實(shí)現(xiàn),現(xiàn)在國(guó)內(nèi)新上的坩堝生產(chǎn)設(shè)備都已經(jīng)往自動(dòng)化發(fā)展。
1.石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
2、不能和HF接觸,高溫時(shí),極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
4.石英質(zhì)脆,易破,使用時(shí)要注意。
目前坩堝生產(chǎn)涂層技術(shù)已被大多數(shù)廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。
石英坩堝制作流程:高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫?!?/span>石英坩堝初步檢測(cè)→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測(cè)→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動(dòng)烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗(yàn)→真空包裝→成品入庫(kù)
石英坩堝的使用及維護(hù)
1、石英坩堝主要化學(xué)成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。
2、石英坩堝對(duì)熱的穩(wěn)定性很好,可直接放在火焰上加熱
3、石英坩堝和玻璃器皿一樣,容易破碎,使用時(shí)要特別小心
4、用石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212攝氏度烘干)等作為熔劑,熔融溫度不許超過800攝氏度。
河南六工石墨有限公司(Henan LG Graphite Co., Ltd.)是一家集石墨產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、進(jìn)出口銷售、售后于一體的綜合性企業(yè),公司位于河南省鄭州市,交通運(yùn)輸便利,六工生產(chǎn)等靜壓石墨、高純模壓石墨、EDM石墨等石墨原材料,六工石墨堅(jiān)信質(zhì)量是生存之本,質(zhì)量是競(jìng)爭(zhēng)手段,我們對(duì)質(zhì)量把控從不懈怠。
六工石墨的宗旨是誠(chéng)信對(duì)待每一位客戶,以合理的價(jià)格、完善的服務(wù)給客戶提供產(chǎn)品。我們與客戶緊密合作,通過溝通了解每一位客戶的需求,確保準(zhǔn)時(shí)把產(chǎn)品送到客戶的手上。六工石墨希望通過好的產(chǎn)品,生產(chǎn)和服務(wù)等為客戶附加增值服務(wù)。六工石墨愿以誠(chéng)摯的服務(wù),與國(guó)內(nèi)外新老客戶竭誠(chéng)合作,攜手共創(chuàng)更美好的明天。