MF4000微型氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家

一、產(chǎn)品概述

銘鴻儀表本產(chǎn)品采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù)，能根據(jù)用戶的需求提供的在線流量計(jì)量。傳感器系采用獨(dú)特的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有的可靠性。傳感器可測(cè)量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對(duì)不同的應(yīng)用，傳感器可用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及介質(zhì)流速。專門設(shè)計(jì)的電路具有放大及微小信號(hào)處理功能以保證高精度輸出。

銘鴻自動(dòng)化不同于其它MEMS傳感技術(shù)，單個(gè)傳感芯片上集成多個(gè)傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒(méi)有氣體介質(zhì)流過(guò)MEMS傳感器芯片時(shí)，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)（溫度分布）。當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場(chǎng)變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)校準(zhǔn)，專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計(jì)介質(zhì)體積流量。

二、流量芯片測(cè)量原理

MEMS質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理的氣體流量測(cè)量?jī)x表，它無(wú)須溫壓補(bǔ)償，直接測(cè)出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點(diǎn)是：可以直接進(jìn)行貿(mào)易結(jié)算；沒(méi)有活動(dòng)部件；壓力損失??；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡(jiǎn)單；操作方便。

金氏定律即熱擴(kuò)散原理。金氏定律：流過(guò)熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法。可用表達(dá)式來(lái)具體說(shuō)明：

P/ △T=A+B（Q）m

其中P表示消耗功率；△T表示兩個(gè)傳感器之間的溫度差；

Q表示質(zhì)量流量；m表示指數(shù)系數(shù)，

A，B是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。

三、產(chǎn)品應(yīng)用

科教實(shí)驗(yàn)室

醫(yī)療單位

電子單位

各種高純氣體的測(cè)量

各種相關(guān)產(chǎn)品配套使用

供氣計(jì)量核算

相關(guān)行業(yè)工廠使用

四、技術(shù)參數(shù)

量程比 100:1

精度 1.5級(jí)

重復(fù)性 ±1.0 %

響應(yīng)時(shí)間 <1秒

工作電源 3.6V電池或12~24VDC

輸出方式 RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）

通信協(xié)議 MODBUS(RTU),通信方式：RS485

大流量壓損 100Pa

大工作壓力 1.6MPa

工作溫度 -10~+55℃

儲(chǔ)存溫度 -20~+65℃

工作濕度 10~95%RH(無(wú)結(jié)露，無(wú)凝露)

顯示內(nèi)容 LCD液晶顯示：瞬時(shí)流量、累積流量

過(guò)程連接 標(biāo)準(zhǔn)法蘭；或卡套式緊固件

適用介質(zhì) 不含水分的氣體

凡是用于空氣、天然氣和管道有粉塵的一定帶過(guò)濾器，過(guò)濾目數(shù)為1微米。