大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)（ECM），這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比，MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng)，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前，集成電路工藝正越來越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號(hào)處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的，有研究報(bào)道稱，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是，在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對(duì)于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí)，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然，可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見，壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。

一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€(gè)電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場(chǎng)合偏置電壓很難滿足。基于上述問題，對(duì)于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過

內(nèi)置麥克風(fēng)：

內(nèi)置麥克風(fēng)是指設(shè)置在數(shù)碼攝像機(jī)內(nèi)的麥克風(fēng)，用作拍攝錄音之用。作為視頻和音頻的記錄裝置，數(shù)碼攝像機(jī)的麥克風(fēng)當(dāng)然不能馬虎。對(duì)于消費(fèi)級(jí)的數(shù)碼攝像機(jī)來說，很多麥克風(fēng)都安裝在機(jī)體里面，這樣的好處是能節(jié)省空間，真正實(shí)現(xiàn)，消費(fèi)數(shù)碼攝像機(jī)方便的理念，但是這樣一來，內(nèi)置麥克風(fēng)可能會(huì)在錄音的同時(shí)錄下機(jī)器的轉(zhuǎn)動(dòng)聲音，這些噪音在后期制作中很容易分辨，卻跟難分離和去掉的。

要解決這些噪音問題，有以下幾個(gè)辦法：

選擇錄音功能強(qiáng)大的數(shù)碼攝像機(jī)。在眾多數(shù)碼攝像機(jī)中，內(nèi)置麥克風(fēng)功能多的要數(shù)松下的機(jī)型。松下內(nèi)置的廣域收音麥克風(fēng)，在用遠(yuǎn)攝鏡拍攝較遠(yuǎn)的人物時(shí)，較近的環(huán)境聲都蓋過了人物的聲音，而松下公司給攝錄機(jī)均加上ZoomMic功能，可以隨鏡頭變焦，縮窄收音范圍，減少雜聲，是簡(jiǎn)單而實(shí)用的設(shè)備。收音方面亦有WindCut功能，可減少因風(fēng)聲過大引起的雜聲。

至于佳能、索尼和JVC的數(shù)碼攝像機(jī)，雖然麥克風(fēng)在收音性能上與松下并無大差異，但是也相對(duì)少了不少的特殊功能。以上提及的數(shù)碼攝像機(jī)，都可以另外配置一個(gè)變焦麥克風(fēng)，其功能和松下的內(nèi)置麥克風(fēng)一樣，外置的麥克風(fēng)有一點(diǎn)好處，就是可以避免錄下機(jī)器轉(zhuǎn)動(dòng)的聲音，外置麥上的隔風(fēng)層，還能減少空氣流過的聲音。而對(duì)于專業(yè)的數(shù)碼攝像機(jī)來說，通常使用的都是外置麥克風(fēng)。