大多數(shù)麥克風都是駐極體電容器麥克風(ECM),這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動膜。與ECM的聚合材料振動膜相比,MEMS麥克風在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定,不會受溫度、振動、濕度和時間的影響。由于耐熱性強,MEMS麥克風可承受260℃的高溫回流焊,而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小,這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前,集成電路工藝正越來越廣泛地被應用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設計靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點。早期微型麥克風是基于壓阻效應的,有研究報道稱,制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風。但是,在敏感膜內(nèi)不存在應力的情況下,這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導致麥克風在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB),這對于麥克風應用是不可接受的。當敏感膜內(nèi)存在張應力時,其諧振頻率將增大,卻以犧牲靈敏度為代價。當然,可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率,但是這仍將減小靈敏度。由此可見,壓阻式方案并不適于微型麥克風的制造 。
鋁帶麥克風
對于鋁帶麥克風來說,其使用的鋁帶既是麥克風膜片,又是在磁場中運動的導體。鋁帶通常由鋁帛制成,厚0~1毫米,寬2毫米~4毫米,質(zhì)量僅為0.2毫克,以求達到較好的瞬態(tài)反應。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率,鋁帶被制成皺折狀以保持一個的張力值。鋁帶作為導體和麥克風膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場中,隨入射聲波頻率而振動,同時在鋁帶兩端產(chǎn)生一定的電壓輸出
動態(tài)范圍
動態(tài)范圍小,會引起聲音失真,音質(zhì)變壞,因此要求足夠大的動態(tài)范圍。
等效噪聲級
聲波的聲壓作用在傳聲器上所產(chǎn)生的輸出電壓同傳聲器本身固有噪聲產(chǎn)生的輸出電壓相等,該聲波聲壓就等于傳聲器的等效噪聲級。
專業(yè)麥克風:
專業(yè)麥克顧名思義是有別于普通民用麥克風。
從種類上來分目前主要有電容麥克風(包括駐極體也叫預極化)、動圈麥克風、鋁帶麥克風等。
從功能大概組要分三類:
,演出用麥克風,主要使用動圈麥克風和電容麥克風(主要根據(jù)使用場合和要求不同而選擇)。
第二,錄音用麥克風,主要使用電容麥克風和鋁帶話筒,錄音用電容話筒不包括駐極體麥克風。
第三,會議用麥克風,主要使用駐極體和少量的動圈麥克。