一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過

20世紀(jì)初，麥克風(fēng)由初通過電阻轉(zhuǎn)換聲電發(fā)展為電感、電容式轉(zhuǎn)換，大量新的麥克風(fēng)技術(shù)逐漸發(fā)展起來，這其中包括鋁帶動圈等麥克風(fēng)，以及當(dāng)前廣泛使用的電容麥克風(fēng)和駐極體麥克風(fēng)。圈麥克風(fēng)的工作原理是以人聲通過空氣使震膜振動，然后在震膜上的電磁線圈繞組和環(huán)繞在動圈麥頭的磁鐵形成磁力場切割，形成微弱的波動電流。電流輸送到擴音器，再以相反的過程把波動電流變成聲音

靈敏度

指麥克風(fēng)的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實際上，麥克風(fēng)在聲場必然會引起聲場散射，所以靈敏度有兩種定義。一種是實際作用于膜片上的聲壓，稱為聲壓靈敏度，另一種是指麥克風(fēng)未置入聲場的聲場聲壓，稱為聲場靈敏度，其中聲場靈敏度又分為自由場靈敏度和擴散場靈敏度。通常錄音用麥克風(fēng)給出聲壓靈敏度，測量用麥克風(fēng)因應(yīng)用類型給出聲壓或聲場靈敏度 。

靈敏度的單位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用靈敏度級來表示，參考靈敏度為1V/Pa

頻響特性：

話筒0°主軸上靈敏度隨頻率而變化的特性。要求有合適的頻響范圍，且該范圍內(nèi)的特性曲線要盡量平滑，以改善音質(zhì)和抑制聲反饋。同樣的聲壓，而頻率不同的聲音施加在話筒上時的靈敏度就不一樣，頻響特性通常用通頻帶范圍內(nèi)的靈敏度相差的分貝數(shù)來表示。通頻帶范圍愈寬，相差的分貝數(shù)愈少，表示話筒的頻響特性愈好，也就是話筒的頻率失真小。