一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過

20世紀(jì)初，麥克風(fēng)由初通過電阻轉(zhuǎn)換聲電發(fā)展為電感、電容式轉(zhuǎn)換，大量新的麥克風(fēng)技術(shù)逐漸發(fā)展起來，這其中包括鋁帶動圈等麥克風(fēng)，以及當(dāng)前廣泛使用的電容麥克風(fēng)和駐極體麥克風(fēng)。圈麥克風(fēng)的工作原理是以人聲通過空氣使震膜振動，然后在震膜上的電磁線圈繞組和環(huán)繞在動圈麥頭的磁鐵形成磁力場切割，形成微弱的波動電流。電流輸送到擴音器，再以相反的過程把波動電流變成聲音

指向性

指向性也叫話筒的極性( polar pattern)，它指話筒拾取來自不同方向的聲音的能力。一般分全向型、心型、超心型、8字型 [5] 。

全向型(Omnidirectional)也叫無方向型，它對各個方向的聲音有相同的靈敏度。心型(Cardioid)屬指向型話筒，前端靈敏度強，后端靈敏度弱。超心型(Supercardioid)拾音區(qū)域比心型話筒更窄，但后端也會拾取聲音。8字型分別從前方和后方拾取聲音，但不從側(cè)面(90度角)拾音

有動圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器，此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。

動圈傳聲器音質(zhì)較好，但體積龐大。

駐極體傳聲器體積小巧，成本低廉，在電話、手機等設(shè)備中廣泛使用。

硅微麥克風(fēng)基于CMOSMEMS技術(shù)，體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風(fēng)的一致性好4倍以上，所以MEMS麥克風(fēng)特別適合高性價比的麥克風(fēng)陣列應(yīng)用，其中，匹配得更好的麥克風(fēng)將改進聲波形成并降低噪聲。