除了凈化技術，電子廠凈化車間還需進行空氣流動管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制?？諝饬髁靠刂瓶梢源_保車間內的空氣量充足，滿足生產所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內的氣壓差，防止外界的空氣進入凈化區(qū)域?？諝饬鲃庸芾淼暮侠響?，可以保持車間內空氣的潔凈狀況。

微?？刂剖謬栏?、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。

高純物質，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。

對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定

對防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數萬㎡

丙類生產的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產工藝要求確定。

凈化車間工程凈化系統(tǒng)不進行清洗，均會影響空氣潔凈等級。普通空調系統(tǒng)不是一次安裝完，多次安裝必然有一些污染物留在風管之中，如果不清理干凈，就會直接影響空氣的清潔度，所以在安裝過程中要邊施工邊清洗，并在驗證之前進行24小時空吹。