除了凈化技術(shù)，電子廠凈化車間還需進(jìn)行空氣流動(dòng)管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制。空氣流量控制可以確保車間內(nèi)的空氣量充足，滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差，防止外界的空氣進(jìn)入凈化區(qū)域?？諝饬鲃?dòng)管理的合理應(yīng)用，可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。

電子凈化車間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè))，1000級(jí)(小于35個(gè))，10000級(jí)(小于350個(gè))，100000級(jí)(小于3500個(gè))。

印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房：6.5級(jí)、24±2℃、65%±5%。

鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū)：6級(jí)、23℃；露點(diǎn)（DP)－30℃；組裝、測(cè)試潔凈室（區(qū)）：7級(jí)、23±2℃、≈20%。

等離子顯示器（PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房

涂屏間：5.5級(jí)、25±2℃，50%±10%。

其他生產(chǎn)間：6.5～8級(jí)、20～26℃、55%±10%。

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。