靜電除塵技術(shù)則可以通過(guò)靜電作用將空氣中帶電粒子去除，進(jìn)一步提高空氣質(zhì)量?；瘜W(xué)吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體，例如甲醛、苯等有機(jī)物。這些技術(shù)的綜合應(yīng)用，可以確保車(chē)間內(nèi)的空氣干凈、清潔，符合生產(chǎn)要求。

印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房：6.5級(jí)、24±2℃、65%±5%。

鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū)：6級(jí)、23℃；露點(diǎn)（DP)－30℃；組裝、測(cè)試潔凈室（區(qū)）：7級(jí)、23±2℃、≈20%。

等離子顯示器（PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房

涂屏間：5.5級(jí)、25±2℃，50%±10%。

其他生產(chǎn)間：6.5～8級(jí)、20～26℃、55%±10%。

微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級(jí)或更嚴(yán)格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。

對(duì)微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的規(guī)定

對(duì)防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬(wàn)㎡

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。