空氣凈化技術是電子廠凈化車間的核心。其中，主要的凈化技術包括過濾、靜電除塵、化學吸附等。過濾器可以有效地過濾空氣中的微粒，將空氣中的塵埃、等顆粒物截留下來。

靜電除塵技術則可以通過靜電作用將空氣中帶電粒子去除，進一步提高空氣質量?；瘜W吸附技術則可以去除空氣中的有害氣體，例如甲醛、苯等有機物。這些技術的綜合應用，可以確保車間內的空氣干凈、清潔，符合生產要求。

丙類生產的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產工藝要求確定。

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復合式。

1、亂流式

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

2、層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

3、復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。