公司嚴格按照科學完整的質(zhì)量管理體系,對工程建設(shè)實行全過程質(zhì)量控制和項目管理。所建工程質(zhì)量全部符合國家標準(或美國聯(lián)邦FS209D技術(shù)標準)、GMP規(guī)范及GLP等技術(shù)要求,并逐步形成了專業(yè)化的項目管理模式,實行嚴格的質(zhì)量管理,在同行和用戶中享有良好的口碑,業(yè)績遍及全國,同時部分工程及產(chǎn)品遠及國外。我們本著“質(zhì)量、信譽至上”的原則,堅持“以科學為手段、以市場為導(dǎo)向、一切為客戶著想”的方針,以“一站式”服務(wù)的宗旨,竭誠為客戶提供優(yōu)質(zhì)、的系統(tǒng)化服務(wù),我公司認真對待每一個產(chǎn)品,每項工程,以質(zhì)優(yōu)取得用戶信賴。
209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位,超凈間等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其超凈間等級為Class 1~100。
潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。