電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對生產環(huán)境的一種改善。電子潔凈車間潔凈度級別可分為10級，100級，1000級，萬級、十萬級等，電子潔凈車間潔凈度直接影響電子產品的質量。

電子工廠凈化廠房特點

>電子產品生產發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代產品

對化學污染物的嚴格要求

大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房

投資大、能量消耗大

微?？刂剖謬栏?、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。

高純物質，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。

對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定

對防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數萬㎡

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復合式。

1、亂流式

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

2、層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

3、復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。