無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來搭配，才能保持良好的潔凈度；無塵室運行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內所用東西等加以探討；無塵室內系統(tǒng)除了通稱的空調系統(tǒng)之外，制程設備也包括在內，系統(tǒng)運行維護及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓的專業(yè)人士來執(zhí)行。

無塵室是污染控制的基礎，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產.一些高新技術對生產環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業(yè)也開始追求無塵室的質量。

建造一個合格的電子無塵車間需要考慮多個因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設備和工作流程。空氣過濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進入車間。

控制粉塵：建造電子無塵車間需要小化粉塵產生和積累的可能性。確保工作表面和設備是光滑、易清潔的，并采取措施減少粉塵揚塵，如使用濕拖抹布、吸塵器等。

靜電消除：靜電是電子元件的一個主要問題，因此必須采取措施消除靜電。使用防靜電地板和防靜電工作臺，并提供適當?shù)撵o電消除設備，如離子風槍、靜電消除器等。