與擴(kuò)散的效果類似,當(dāng)過濾材料帶靜電時(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速,帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計時就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。
一般生產(chǎn)車間一般以自身的加工工藝規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn),可是無塵室管理就顯著繁雜很多。依據(jù)自然環(huán)境清潔水平,按時拆換初、中效過濾器空氣過濾網(wǎng),中效過濾器拆換時間隔一般為3-6個月,新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)口的中效過濾器拆換清理間隔時間為30天上下。按時(3~6個月)檢驗各凈化室的工作壓力,一般潔凈區(qū)正壓力應(yīng)超過10pa,不然務(wù)必查驗初效、中效過濾器是不是阻塞,拆換、查驗送排煙風(fēng)機(jī)是不是運(yùn)行正常。
無塵室潔凈度之維持和控制,除了硬件設(shè)備的投資外,也需要良好的軟件—管理制度來搭配,才能保持良好的潔凈度;無塵室運(yùn)行和管理,可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討;無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人士來執(zhí)行。
無塵室是污染控制的基礎(chǔ),是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中,必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間,硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高,為了提升競爭力,各個行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。