對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵,根據(jù)傳統(tǒng)理論,風速降低后,粉塵與纖維碰撞的幾率會減少,過濾效率會隨之降低。但在實踐中這種影響并不明顯,因為風速小了,纖維對粉塵的反彈力也小了,粉塵更容易被粘住。
風速高,阻力就大。如果過濾器的使用壽命以終阻力為依據(jù),風速高,過濾器的使用壽命就短。一般用戶很難實際觀察到風速對過濾效率的影響,但觀察風速對阻力的影響要容易得多。
無塵室潔凈度之維持和控制,除了硬件設備的投資外,也需要良好的軟件—管理制度來搭配,才能保持良好的潔凈度;無塵室運行和管理,可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討;無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調系統(tǒng)之外,制程設備也包括在內(nèi),系統(tǒng)運行維護及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓的專業(yè)人士來執(zhí)行。
無塵室是污染控制的基礎,是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中,必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間,硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高,為了提升競爭力,各個行業(yè)也開始追求無塵室的質量。
工作人員會帶入塵埃,那么所有的物料及設備也會影響無塵室的清潔。在物流和設備進入時,要做到不將任何微?;蛭⑸飵胧覂?nèi)。工作人員要在無塵室內(nèi)穿著潔凈衣服,用無塵紙擦拭物料和設備。搬運時也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過的不銹鋼板,防止破壞地板。